成果转化
关于浙江大学杭州国际科创中心1项技术秘密转让的公示
来源：浙江大学杭州国际科创中心
发布时间：2023-09-11
浙江大学杭州国际科创中心1项技术秘密拟转让，现将相关信息予以公示。
技术秘密名称：高精度DUV、EUV物镜装调技术与波像差检测技术
技术秘密简介：探索出新的高精度DUV、EUV物镜装调技术与波像差检测技术，现已实现波像差（RMS）达到50nm，并有望在将来推进至0.3nm，全面支撑我国半导体集成电路制造业超精度光刻加工与检测设备核心光学部件的全国产化。
转化方式：转让
定价方式：评估定价
转化价格：106.00万元
公示期自2023年9月11日起至2023年9月26日止。如有异议，请在公示期内向科研发展部提交异议书及有关证据。
联系方式：电话：0571-82990668
邮箱：kczyl@zju.edu.cn
科研发展部
2023年9月11日
