采购信息
金相荧光显微镜、轮廓仪等采购公示
来源：财务资产部
发布时间：2020-09-25
| 序号 | 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 1 | 公示开始日期 | 2020年9月25日 | 公示截止日期 | 2020年9月29日 |
| 品名 | 金相荧光显微镜 | 技术参数及配置要求 | 1. 研究级正置显微镜：包含明场反射、明场透射、暗场、荧光等功能； 2. 专用载物台：≥78 X 54 mm； 3. 专用三目镜筒：三档分光，目镜和相机可同时观察； 4. 物镜转换器：≥5孔； 5. 明暗场物镜： 1X物镜：N.A.≥ 0.04, W.D.≥ 3.2 mm； 5X明暗场物镜：N.A.≥ 0.15, W.D.≥ 18 mm； 10X明暗场物镜： N.A.≥ 0.30, W.D.≥ 15 mm； 20X长工作距离明暗场物镜： N.A.≥ 0.40, W.D.≥ 19 mm； 50X长工作距离明暗场物镜： N.A.≥ 0.60, W.D.≥ 11 mm； 6. 荧光系统：六工位荧光转盘。长寿命荧光照明，130瓦汞灯照明，汞灯寿命≥2000小时，荧光光强分6档连续可调； 7. 配备蓝色（DAPI）绿色（FITC），红色（TRITC）带通型发射荧光滤光块，无荧光串色现象； 8. 原装进口数码成像系统：科研级别相机（需跟显微镜同品牌能及插及用）： （1）物理像素≥580万； （2）芯片:≥ 1/1.8英寸，尺寸：6.91mm*4.92mm； （3）模数转换深度：12bit*3； （4）全像素2880X2048,速度不低于15 FPS，1440X1024不低于30 FPS； （5）灵敏度：相当于ISO 50-3200； （6）曝光时间：100微秒 to 30秒； 9. 正版软件系统：具有拍照、录像、图像处理、多色图像叠加、自动形态学、光密度测定、测量等功能； 10. 电脑：品牌电脑，8G内存，I5中央处理器，1T硬盘，24寸液晶监视器等。 | |
| 预算金额 | ¥260,000.00 | 供应商 | 上海千欣仪器有限公司 | |
| 经办人 | 陈老师 | 联系电话 | 0571-82395260 | |
| 2 | 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2020年9月25日 | 公示截止日期 | 2020年9月29日 | |
| 品名 | 显微镜 | 技术参数及配置要求 | 1. 光学系统：IC2S无限远色差反差双重校正光学系统，45mm国际标准物镜齐焦距离； 2. 观察方式切换：采用不少于4位功能模块转盘； 可实现观察方法：明场，暗场，C-DIC； 3.光强系统：切换物镜放大倍数及观察功能时可自动调整至预设光强； 4. 照明：使用长寿命LED光源，寿命不低于5万小时； 5. 镜筒：三目镜筒，2.5倍管镜，可调整瞳距及上下角度； 6. 目镜：10倍带刻度超大视野平场目镜，每个目镜均可单独进行屈光度调整，视场不小于20mm； 7. 物镜转盘：不少于4孔多功能物镜转换器，软件可以读出当前所使用的观察模块； 8. 载物台：配有晶圆载物台，可放置3、4、6英寸样品； 9. 物镜： （1）5x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.13； （2）10x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.25； （3）20x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.4； （4）50x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.75； （5）100x增强反差反射光平场明暗场物镜，数值孔径不小于0.85。 | |
| 预算金额 | ¥236,000.00 | 供应商 | 建发（上海）有限公司 | |
| 经办人 | 冉老师 | 联系电话 | 0571-82395260 | |
| 3 | 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2020年9月25日 | 公示截止日期 | 2020年9月29日 | |
| 品名 | 显微镜 | 技术参数及配置要求 | 2套晶圆检查专用显微镜系统，适合多尺寸的晶圆（最大支持8寸晶圆检测）、平板显示器、电路板、以及其他大尺寸样品的高质量检测： 1. 主机架，符合人体工学设计，支持LED反射光源观察，内置电动控制模块; 2. 载物台及聚焦装置：带内置离合驱动的手动载物台，配备可旋转晶圆托架及台板，XY行程210*210mm，Z行程32mm，最小分度1微米，具有上限位器和扭矩调节功能; 3. 光学系统：无限远校正光学系统; 4. 观察方式：反射明场、暗场、后期可拓展透射、偏光、DIC及MIX明暗场混合; 5. 三目镜筒：超宽视场数26.5，倾斜正像，2档光路切换，配套两个10倍目镜，带有屈光度调节环; 6. 物镜：5孔明暗场带插槽电动物镜转盘，配套5-100X专业物镜各一套，物镜具体技术参数如下： 5 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.15，工作距离12mm； 10 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.30，工作距离6.5mm； 20 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.45，工作距离3.0mm； 50 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.80，工作距离1.0mm； 100 倍金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.90，工作距离1.0mm； 长工作距离高倍物镜参数： 50 倍长工作距离金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.50，工作距离10.6mm； 100 倍长工作距离金相平场半复消色差明场/暗场物镜，数值孔径0.80，工作距离3.3mm; 7. 附件：各配备滤色插片2个，用于平衡色温，各配套中间变倍体一个及成像接口一套; 8. 2套成像系统：原装500W像素彩色摄像头，图像清晰鲜明，色彩保真度高，灵敏度高，USB3.0接口；配套原装基础测量软件，支持距离、角度、圆形、多边形等多种测量工具，数据可导出，图片支持多种格式保存; 9、配套2套国内主流品牌台式套装PC，配置适配成像系统功能需求。 | |
| 预算金额 | ¥435,900.00 | 供应商 | 杭州全谱实验室设备有限公司 | |
| 经办人 | 冉老师 | 联系电话 | 0571-82395260 | |
| 4 | 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2020年9月25日 | 公示截止日期 | 2020年9月29日 | |
| 品名 | 轮廓仪 | 技术参数及配置要求 | 1. 相机：黑白 CCD 相机 130 像素； 2. 适用尺寸：4,6英寸SiC晶圆； 3. 测量晶圆厚度范围：300～700um； 4. 设备功能：具有校准功能并附带校正样块，可保存测量图片和测量数据； 5. 边缘测定尺寸：倒角尺寸各部； T-mode：T,X1,X2,Y1,Y2,Y3,R1,R2,A1,A2； R-mode：T,X1,X2,Y1,Y2,R,A1,A2； 6. 槽口测定尺寸：槽口尺寸各部 R-mode：Vh,Vw,P1,P2,Vr,AngV,Lr,Rr 7. 晶圆接触部：晶圆放置台（特氟龙涂层）； 8. AC线3条； 9. 影像线2条； 10. 显示器线1条； 11. 备份CD-ROM1张； 12. 校正样块 1个； 13. 4倍镜头 1个； 14. 尺寸精度：晶圆厚度、边缘轮廓长度、宽度、深度等测量数据精确到1um； 15. 硅片边缘轮廓弧度、圆周等的半径测量数据精确到1um；重复精度 ±10um； 16. 角度精度：边缘轮廓角度的测量数据精确到0.1°；重复精度 ±1.0°； 17. 尺寸校正精度：晶圆厚度、边缘轮廓长度、宽度、深度等测量数据校准或修正精为1um，硅片边缘轮廓弧度、圆周等的半径测量数据校准或修正精度为1um； 18. 角度校正精度：晶圆边缘轮廓角度的测量数据校准或修正精度为0.1°。 | |
| 预算金额 | ¥492,000.00 | 供应商 | 上海瞻驰光电科技有限公司 | |
| 经办人 | 沈老师 | 联系电话 | 0571-82395260 | |
对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。
