采购信息
等离子清洗机采购公示
来源：财务资产部
发布时间：2020-09-28
| 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2020年9月28日 | 公示截止日期 | 2020年10月9日 |
| 品名 | 等离子清洗机 | 技术参数及配置要求 | 1、外部尺寸：457*482*609（18"W*19"D*24"H)； 2、真空腔尺寸：φ254*273 (φ10"*10.75") ； 3、电极尺寸： 228.6*254 (9"*10")最大间隙139.7； 4、等离子发生器功率300W(0-300W连续可调)，频率：13.56MHz； 5、2路气体通道，气体流量控制器 0-25cc/min w/精密针形阀； 6、皮拉尼真空计 0-1Torr.(1-2000mT)； 7、6061航空级别铝合金材料无缝焊接真空腔； 8、PLC微电脑控制系统； 9、一键急停保护按钮。 |
| 预算金额 | ¥173,060.00 | 供应商 | 上海昭沅仪器设备有限公司 |
| 经办人 | 严老师 | 联系电话 | 0571-82395260 |
对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。
