采购信息
方阻测试仪采购公示
来源：财务资产部
发布时间：2020-10-22
| 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2020年10月22日 | 公示截止日期 | 2020年10月27日 |
| 品名 | 方阻测试仪 | 技术参数及配置要求 | 1、技术要求 （1）薄膜电阻率: 1 mΩ.cm到300 kΩ.cm （2）方块电阻: 2 mΩ/sq到5 MΩ/sq （3）晶片直径: 50至200mm,可测量不规则硅片 （4）测量方式: 手动放片,自动下针，自动扫描测试 （5）测量精度 测试内部标准电阻0.5% 测试标准电阻样品 1% （6）测量重复性 测试标准电阻样品0.2% 2、恒流源技术参数 (1)电流输出 电流档 精度 适用电压档 100 nA ±(0.2%+0.1nA) 60V 1 μA ±(0.1%+0.5nA) 60V 10 μA ±(0.1%+2nA) 60V 100μA ±(0.1%+20nA) 60V 1 mA ±(0.1%+0.2uA) 60V 10 mA ±(0.1%+2uA) 30V 100 mA ±(0.1%+20uA) 10V 3、数字电压表技术参数 电压档 精度 输入阻抗 3.000 mV ±(0.1%+5 digit) 1010 30.00 mV ±(0.1%+2 digit) 1011 300.0 mV ±(0.1%+2 digit) 1012 4、探针技术参数 （1）探针品牌：Jandel(寿命质保10万次以上,一般寿命25万次。) （2）要求在测试的时候，测试探头能够自动对测试点进行测试，不必用手动调整测试探头进行测试。 （3）四探针探头基本指标间距：1mm； （4）探针压力：50-650g可调。 5、数据分析系统（在软件自动控制下测量） （1）具有2D，3D Mapping的数据分析功能。 （2）具有测试数据自动导出功能。 （3）具有边缘修正功能。 6、电源等基础要求 （1）电压为220伏特，频率为50赫兹 （2）功耗：低于200瓦特 （3）自带小型的真空干泵 7、附件 （1）除主机标配一套探针以外，另配一套探针。 （2）附送标准电阻片（带校准证书），校准电阻片。 （3）安装使用说明书、质量检验证明书、随配附件、维护指南和清单等一并附于货物内。提供设备操作手册、工艺手册及硬件手册（电气回路图，PM指导书等） 8、符合以下标准 <JIS> JIS H 0602-1995, JIS K 7194-1994 <ASTM> ASTM F 84-99(SEMI MF84), ASTM F 374-00a, ASTM F 390-11, ASTM F 1529-97 |
| 预算金额 | ¥260,000.00 | 供应商 | 德仪国际贸易（上海）有限公司 |
| 经办人 | 王老师 | 联系电话 | 0571-82395260 |
对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。
