采购信息

清洗甩干机采购公示

来源：财务资产部发布时间：2021-02-03

项目单位	先进半导体研究院
公示开始日期	2021年2月3日	公示截止日期	2021年2月7日
品名	清洗甩干机	技术参数及配置要求	工艺腔数量：2个晶圆规格：上腔尺寸4″（φ100mm），下腔尺寸6″（φ150mm）工作转速：300—2400r/min 晶圆材料在甩干后进行颗粒度性能检测，晶圆表面的微粒增加数满足以下要求：（注：测量时边缘尺寸面积内的颗粒数除外。）材料规格：φ100mm，边缘尺寸2～4mm，微粒增加数小于25个。材料规格：φ150mm，边缘尺寸2～6mm，微粒增加数小于30个。氮气加热功能：不锈钢加热器在线加热，温度开关控制，加热温度控制在80℃±5℃。配置高洁净型减压阀，内置氮气过滤器，过滤精度0.003μm。静电消除装置：释放±4.5~5.4 KDC 抑制静电±100V。
数量	1	规格型号	CXS-2150S
预算金额	¥290,000	供应商	中国电子科技集团公司第四十五研究所
经办人	陈老师	联系电话	0571-82395260

对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。