采购信息
主动式隔振台采购公示
来源：财务资产部
发布时间：2021-02-04
| 项目名称 | 先进半导体研究院 | ||
| 公示开始日期 | 2021年2月4日 | 公示截止日期 | 2021年2月8日 |
| 品名 | 主动式隔振台 | 技术参数及配置要求 | （1）控制系统：6 自由度反馈+ 前馈控制的双重主动控制系统 （2）载荷重量：≥1000kg （3）空气源：CDA （4）气压要求：0.6MPa 及以上 （5）减振起始频率：1Hz （6）隔振效果：振动频率1Hz：衰减70%-90%，振动频率2Hz：衰减≥90%，振动频率2Hz～10Hz：衰减90%~98%，振动频率10Hz以上：衰减95%-99% （7）位移传感器最小分辨率≤5um，行程范围1-5mm （8）钢结构基座载荷重量≥1000kg （9）加速度传感器频率范围DC-400Hz,最小分辨率≤1*10-6m/sec2，最大耐冲击参数 1000m/sec2 （10）控制器输入/输出控制信号采样频率，加速度：2000Hz 位移：125Hz，分辨率输入：18bit 输出：16bit，电源AC100-240V 50-60Hz （11）蔡司电镜sigma300允许 水平振动值（X/Y）： 振动频率＜10 Hz：测试结果≤ 0.04 mm/s2rms 振动频率10-20Hz：测试结果≤ 0.17 mm/s2rms 振动频率20-70Hz：测试结果≤ 0.30 mm/s2rms 振动频率＞70Hz：测试结果≤ 2.00 mm/s2rms 允许垂直振动值(Z)： 振动频率＜8 Hz：测试结果≤ 0.03 mm/s2rms 振动频率8-45 Hz：测试结果≤ 0.15 mm/s2rms 振动频率＞45 Hz：测试结果≤ 2.00 mm/s2rms |
| 数量 | 1 | 规格型号 | aL4X-911R1 |
| 预算金额 | ¥380,554 | 供应商 | 建发（上海）有限公司 |
| 经办人 | 熊老师 | 联系电话 | 0571-82395260 |
对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。
