| 公示开始日期 | 2021年5月11日 | 公示截止日期 | 2021年5月14日 |
| 品名 | 半导体器件高温退火炉低压控制模块 | 技术参数及配置要求 | 1.配备额外一路氮气，并添加阀门以及流量计，用于控制工艺腔内部的气压。流量计品牌需为Horiba、MKS、Bronkhorst的三个品牌之一。 2.1700摄氏度温度下工艺腔气压可以维持在4mbar~30mbar，且气压在4mbar~30mbar范围内可连续可调，调节的步长不高于0.1mbar，气压稳定性在±15%以内（1个小时以内）。 3.电阻均匀性：低压情况下炉管内部片内均匀性σ/Ave:≦3.0%,片间均匀性:≦3.5%,批次间均匀性:≦4.0%。 4.需要配备配套的软件，对设备真空的功能进行控制。 5.乙方应当确保厂家提供初始的氮气流量和气压关系的并提供配套软件进行校准，且工艺腔气压数据在系统界面中实时显示。 |
| 数量 | 1 | 规格型号 | / |
| 预算金额 | JPY5800000.00 | 供应商 | 爱发科商贸(上海)有限公司 |
| 经办人 | 陈老师 | 联系电话 | 0571-82395260 |
对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82359109；0571-82359101）。
