探针轮廓仪采购公示

1.最大扫描长度150mm。

2.测试所允许的最大样品高度为50mm。

3.垂直方向的扫描范围1000μm。

4.测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）。

5.测试垂直分辨率≤0.1nm（6.55μm垂直范围下）。

6.光学系统：彩色CCD 180x放大倍率。

7. XY自动移动载物台，X为150mm行程,Y为150mm行程。

8.探针压力：1-15mg能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。

9.提供证书的校准用标样。

10.系统具有超光滑平面,保证扫描基线稳定性。

11.提供专用分析软件并终身免费升级。

12.多次扫描分析≥15次。

13.仪器采用成熟的LVDT传感器,保证仪器稳定性，数据重复性和可靠性。

14.单次扫描最大采样点数120,000。

15.标配带有磁吸附自动更换探针附件工具，而不是固定在设备主机上。

16.仪器配有环境保护罩，防止静电环境影响。

17.计算机配置，最新64位操作系统，320G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅18. 薄膜应力测量功能。