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离子溅射仪采购公示

来源:财务资产部发布时间:2021-08-18

公示开始日期2021/08/18公示截止日期2021/08/23
品名离子溅射仪技术参数及配置要求

标配一套13.5MHz,300W的射频电源

标配一套500W的直流电源,直流电源工作电压:0-800V,最大工作电流:0.75A ,直流输出功率:0W—500W连续可调;

两个2英寸磁控溅射头;

靶材尺寸直径为50.8mm,材质Au、Pt、Ag、Cu、Pb

数量1套规格型号VTC-2RF-II
金额¥129,100.00供应商合肥科晶材料技术有限公司
经办人石老师联系电话17816875331

对以上公示内容有异议的,请于公示截止日前以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部(联系电话:0571-823591090571-82359101)。