合金氧化炉配件采购公示

1、备件适用范围：

1.1配件对应主机台是1根氧化退火炉+1根低温NH退火炉，包含与工艺相配套的炉体、profile热偶、所有石英配件及连接备件。

1.2配件适用的主设备环境：工作环境（温度25±10℃，湿度40%~60%）、工作电压三相五线制AC 380V±10%或单相三线制AC 220V±10%，50Hz（系统需配置UPS）。

2、热偶及炉体温度指标：

2.1测温范围：0.0～1400℃2.2使用温度：MAX:1250℃；低温合金炉最高 900℃；

2.2显示精度：全量程0.1℃；

2.3控温精度：300到600度：±0.7℃；600到1300度：±0.5℃；

2.4恒温区：长度:≥350mm，控温点数：3点控温；

2.5恒温区内偏差：≤±1℃（以1000℃为测量点，每隔3cm测一点）；

2.6升温、恒温、降温控温类型可选择；

2.7膜厚均匀度：片内不高于±3%,片间不高于±2%,批次间不高于±2%。

3、石英件指标：

3.1石英件使用GE原材料，并与主机工艺须配套；

3.2石英件安装后气密性检测＜20Ȧ；

3.3腔体金属沾污每种金属含量低于5E10atoms/cm2。

3.4石英件安装后工艺腔室颗粒度要求：无膜颗粒增加值,＞0.3um size颗粒≤20颗,＞1um size颗粒≤5颗。

4、厂商必须提供基于该高温退火炉的实验测试结果，验证实验结果必须满足以上技术参数。

5、配件易维护、易更换，并提供每一个配件的图纸和详细参数，包括型号、尺寸、材质等。