氧化退火炉采购公示

1、温度指标：

1.1测温范围： 0.0～1400℃ ；使用温度：MAX:1250℃；低温特制炉体最高 900℃；

1.2显示精度：全量程0.1℃；

1.3控温精度：300到600度：±0.7℃；600到1300度：±0.5℃；

1.4控温点数：3点控温；恒温区长度:≥350mm ；

1.5恒温区内偏差：≤±1℃（以1000℃为测量点，每隔3cm测一点）；

1.6升温、恒温、降温控温类型可以任意选择；

2、推拉舟控制技术指标：

2.1行程可调：≤1500mm；

2.2定位精度：≤±1.0mm；

2.3舟的速度：30-500mm/min；

3、气体流量、阀门控制技术指标：

3.1每根炉管可同时控制8路气体,检测8路模拟输入，12路电磁阀，12路开关量信号；

3.2MFC控制输出精度：±0.5％，气体流量输出检测精度：±0.1％；

3.3扩散炉气体流量计要求：T1:N2-20L、O2-20L、H2-20L、LO2-1L、HCL-500SCCM、Ar-20L、FORMING GAS 5 % H2 in N2-20L；T2:N2-20L、H2-2L；

3.4扩散炉提供外点火炉，点火炉实现软硬件双互锁，软件上互锁是当设定值大于配置的最高比例值后，气体给定按最大比例值输出，保证安全；硬件互锁有低氧，高氢，比例失调，温度过低，火焰丢失等，点火成功后降温或温度保持可选；

3.5外点火炉为水冷式的，并可监控水冷流量是否正常，串入互锁；3.6O2与HCL互锁，不通O2不允许通HCL，并可按照一定比例设置保护；

4、控制软件技术指标：

4.1每个温度点可接2个Spike TC，当使用中的Spike TC损坏时，自动跳到备份热偶继续完成控制，软件中会显示损坏的Spike TC，并给出报警提醒；

4.2在工艺编写时可选择Spike控温、Profile控温和串级控温三种控制方式，每个程序可单独设定使用何种方式控温；

4.3具有自动校准温区功能；

4.4控制系统具有热电偶断偶报警、超温报警、极限超温报警、功率器件超温报警等功能，确保设备的安全性；

4.5具有气体流量偏差报警，在编写工艺时可设置工艺气体的上下限，当偏差超过设定数值时，系统会报警提醒；

4.6断电保护：在出现瞬间断电时，DTC和DPC会自动保存所有数据，来电时用户可根据提供的数据进行相应的处理，减少了故障处理时间；

4.7软件具有事件记录功能，可记录报警、操作（如启动、跳转、结束工艺）、编写、修改工艺等信息，方便工艺调整和故障查询，数据的保存时间直至硬盘满（大于3年），存满后需由工程师定期清理数据；

4.8曲线记录功能，可实现对温度、悬臂浆、气体流量、电磁阀、开关量等信息的实时记录，可查询任意时刻的曲线数据，并具放大和缩小功能，方便操作。