采购信息

离子注入委托加工服务采购公示

来源：财务管理部发布时间：2022-11-03

公示开始日期	2022.11.3	公示截止日期	2022.11.4
服务名称	离子注入加工服务	主要服务内容	晶圆上主要Al、N等元素的注入,温度:常温-600℃，能量30-960KeV，Tilt角度0-15°，剂量1E11-1E16cm-2
金额	49万元	供应商	北京智慧能源研究院
经办人	谭老师	联系电话	15306582171

对以上公示内容有异议的，请于公示截止日前以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至浙江大学杭州国际科创中心财务资产部（联系电话：0571-82990650；0571-82359101）。