采购信息

公示开始日期

2022.12.15

公示截止日期

2022.12.16

品名

光刻板

技术参数及配置要求

（1）R2205HB测试光刻板用于测量镜头控制精度（lens controller accuracy），挡板精度（reticle blind accuracy），正交性（orthogonality）（2）R2205HCD测试光刻板用于评估镜头成像质量（除了接触孔），通过电子显微镜测试硅片各个方向的线条粗细尺寸误差，以及查看分析线条的立体形貌状况，综合评估各个区域像质；（3）R2205HDIS测试光刻板用于评估镜头畸变测量（lens distortion measurement），版旋转精度（reticle rotation accuracy），畸变互套测试（distortion matching）2.材料采用日本低膨胀系数石英（EQZ），版的规格是EQZ6025,表示6寸光刻版外形，厚度0.25英寸，厚度约为6.35mm，图形层经过超精密抛光，PV小于1/10波长

数量

3

规格型号

（1）R2205HB测试光刻板（2）R2205HCD测试光刻板（3）R2205HDIS测试光刻板

金额

201000元

供应商

南京佰思机电设备有限公司

经办人

陈老师

联系电话

0571-83525302