成果转化
关于浙江大学杭州国际科创中心 1 项专利许可的公示
来源：浙江大学杭州国际科创中心
发布时间：2022-07-20
浙江大学杭州国际科创中心1项专利拟许可，现将相关信息予以公示。
[1] 专利名称：一种半导体材料退火装置
专利号：ZL202220097760.9
专利简介：本实用新型公开了一种半导体材料退火装置，涉及半导体制造技术领域，包括：转移室，转移室内设有载样台，转移室上活动设有样品传送装置；第一加热室，第一加热室与转移室相连通；第二加热室，第二加热室与转移室相连通；冷却室，冷却室与转移室相连通，冷却室用于对第一加热室或者第二加热室处理后的样品进行冷却处理；旋转升降机构，旋转升降机构与载样台相连接，所述旋转升降机构用于带动载样台并带着样品在第一加热室、第二加热室和冷却室之间进行转换。本申请的退火装置不仅可以实现连续加热，无需进行重复升温降温操作，有效降低工作过程能耗以及提高退火效率，且每个室既可以配合工作，也可以单独工作，进一步降低了生产成本。
转化方式：普通许可
定价方式：协议定价
转化价格：15万元
公示期自2022年07月20日起至2022年08月04日止。如有异议，请在公示期内向科研发展部提交异议书及有关证据。
联系方式：电话：0571-82990668
邮箱：kczyl@zju.edu.cn
科研发展部
2022年07月20日
