卞殷旭,1992年生,2018年博士毕业于浙江大学光电学院。从事精密光学测量与仪器研究,当前正在攻克EUV精密测量与装调技术。共发表论文33篇,其中一作12篇,通讯作者1篇,3次学术会议特邀报告。作为负责人,主持国家重点研发计划课题、国家自然科学面上/青年基金、全国重点实验室课题、江苏省自然科学基金、中央高校自主科研、CAST航天基金等课题,授权专利10余项。