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人才全部分类

人才团队

王 依

副研究员
单位:极端光学技术与仪器研究院
电话:19967338887
职务:
地址:水博园B02楼-301室
邮箱:yi.wang@zju.edu.cn
研究方向:围绕极紫外光刻领域干涉光刻与直写光刻方向,从事高水平技术攻关工作

个人简介 科研成果 专利成果

预期建立基于高次谐波光源的EUV干涉光刻系统


主要研究兴趣:



荣誉及奖励:


预期建立基于高次谐波光源的EUV干涉光刻系统