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徐月暑
副研究员
单位:
极端光学技术与仪器研究院
电话:
18018651530
职务:
地址:
水博园B02楼-301室
邮箱:
l221693@zju.edu.cn
研究方向:
围绕光刻精密检测领域短波成像与检测方向,从事极紫外计算成像高水平科学研究,开展极紫外掩模缺陷检测技术攻关,并推进短波X射线成像技术产业转化。
个人简介
科研成果
专利成果
预期成果:1.入选省万/市万人才计划;2.成立科学公司,成为高新技术企业。
主要研究兴趣:
荣誉及奖励:
预期成果:1.入选省万/市万人才计划;2.成立科学公司,成为高新技术企业。
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