浙江大学杭州国际科创中心与上海御微半导体技术有限公司合作共建 “浙江大学杭州国际科创中心-御微半导体技术集成电路装备联合实验室”。
联合实验室将围绕光学量检测系统等关键装备技术，重点聚焦复杂表面高精密面型量测技术、微结构高精密量测技术、超精密显微成像技术三大方向开展研究，推动实现集成电路装备自主化进程。
上海御微半导体是一家为集成电路制造提供先进装备的科创企业，已形成服务于芯片制造、光罩制造、晶圆衬底制造、基板制造四大领域的九大类量测及检测产品。此次合作，企业将依托自身在装备集成与产业化方面的经验，与科创中心极端光学技术与仪器研究院在光学技术、仪器科学、集成电路等领域的科研实力相结合，通过项目合作、人才培养、技术开发等多种形式，构建从基础研究到装备验证的完整创新链条。
