信息与功能材料研究院-泓芯微半导体联合实验室

杭州泓芯微半导体有限公司是一家专注于半导体用高纯石英制品研发、生产与销售的高新技术企业，致力于为半导体产业链提供关键材料支撑。

联合实验室与科创中心信息与功能材料研究院余学功教授团队合作，将重点聚焦高纯石英材料后处理技术研究、大型异形石英部件表面金涂层制备关键技术研究两大研究方向。

联合实验室将依托科创中心在信息与功能材料领域的研发平台与人才优势，结合泓芯微半导体的产业实践经验与场景需求，共同构建“机理研究–工艺开发–应用验证”一体化创新链条，力争突破半导体装备关键部件制造中的材料与工艺瓶颈。