关于浙江大学杭州国际科创中心硅及先进半导体概念验证专项项目立项的公示

编号

项目情况

1

名称：用于智算中心的光互联系统；

项目负责人：李晨晖；

概念验证周期：2年。

2

名称：用于超高纯硅基粉体加工的烧结设备及温场关键部件；

项目负责人：肖贵云；

概念验证周期：2年。

3

名称：高可靠性铁电存储芯片与关键装备产业化；

项目负责人：韩根全；

概念验证周期：2.5年。

4

名称：面向下一代数据中心光互联的先进VCSEL芯片及光电共封模块技术研究；

项目负责人：雷蕾；

概念验证周期：2年。

5

名称：面向先进封装的高精度直写光刻项目；

项目负责人：周朝阳；

概念验证周期：2年。

6

名称：人工合成光伏级高纯石英砂；

项目负责人：陈坤；

概念验证周期：2年。