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科创人才
宋立辉
博士
研究员
单位:
先进半导体研究院
电话:
职务:
半导体材料研究室课题组长PI,“求是科创学者计划”入选者
地址:
科创中心信息港园区3207
邮箱:
songlihui@zju.edu.cn
研究方向:
半导体中的杂质与缺陷工程,缺陷检测技术
个人简介
科研成果
专利成果
1. 阐明了质子和电子辐照下碳化硅中辐照诱生缺陷的生成和演化规律;2. 阐明了质子和电子辐照对碳化硅肖特基器件的影响规律和机理;3. 揭示了碳化硅和晶硅中一些典型缺陷的电学特性和钝化方法。
主要研究兴趣:
荣誉及奖励:
1. 阐明了质子和电子辐照下碳化硅中辐照诱生缺陷的生成和演化规律;2. 阐明了质子和电子辐照对碳化硅肖特基器件的影响规律和机理;3. 揭示了碳化硅和晶硅中一些典型缺陷的电学特性和钝化方法。
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