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人才团队

徐月暑

副研究员
单位：极端光学技术与仪器研究院
电话：18018651530
职务：
地址：水博园B02楼-301室
邮箱：l221693@zju.edu.cn
研究方向：围绕光刻精密检测领域短波成像与检测方向，从事极紫外计算成像高水平科学研究，开展极紫外掩模缺陷检测技术攻关，并推进短波X射线成像技术产业转化。

个人简介 科研成果 专利成果


主要研究兴趣：



荣誉及奖励：


预期成果：1.入选省万/市万人才计划；2.成立科学公司，成为高新技术企业。