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人才全部分类

科创人才

王 依

副研究员
单位:极端光学技术与仪器研究院
电话:19967338887
职务:
地址:水博园B02楼-301室
邮箱:yi.wang@zju.edu.cn
研究方向:围绕极紫外光刻领域干涉光刻与直写光刻方向,从事高水平技术攻关工作

个人简介 科研成果 专利成果

王依,1987年生,2019年1月从中国科学院大学获得博士学位。2021年3月至2023年3月分别在比利时鲁汶大学、德国卡尔斯鲁厄理工学院从事博士后研究。2013年5月至2023年3月期间,在中科院长春光机所应用光学国家重点实验室工作。主持国家自然科学青年基金、国家重点实验室基金等项目,作为项目骨干承担国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)、国家重大科技基础设施项目“上海同步辐射装置”等科研任务。目前主要从事光学检测、极紫外光刻关键技术及等离子体技术等方面研究。2023年4月加入极端光学技术与仪器全国重点实验室任科创百人计划研究员。

主要研究兴趣:



荣誉及奖励:


预期建立基于高次谐波光源的EUV干涉光刻系统