为进一步加强实验室安全工作，增强研究院师生安全意识及应对特气泄漏的应急处置能力。2022年9月2日上午，先进半导体研究院组织全体师生员工以及外协单位工作人员开展了特气泄漏应急演练。
上午9:30，演练活动正式开始。演练模拟外延区现场TCS泄漏，环境侦测器发出二级报警，厂务特气联动系统启动疏散广播及报警，通知人员有序向集合地疏散。所有人员在听到广播后立即有序疏散到集合地点，事故发现者立即向总指挥报告事故。搜救人员关闭泄漏关键阀门，防止事故进一步扩散，并找到伤者位置，用担架把伤者送到室外集合地，报告总指挥伤员已转移出危险区。最后，演习总指挥对本次应急疏散演练进行了总结讲话，演习圆满结束。
本次演习进一步贯彻了“安全第一，预防为主”的方针，确保研究院员工生命和财产的安全，维护科创中心及周边地区环境。通过演习，员工进一步熟悉、了解特气泄漏处理的使用及应急处理流程。