先进半导体研究院成功举办半导体碳化硅材料生长、加工和表征技术培训

发布者:胡慧婷发布时间:2025-05-29浏览次数:11

促进中国平煤神马集团与浙江大学杭州国际科创中心在半导体碳化硅材料领域的深度合作,加强产学研协同创新,提升碳化硅单晶生长、加工及检测技术的研发与应用水平,519日至523日,先进半导体研究院举办半导体碳化硅材料生长、加工和表征技术培训

皮孝东教授主持培训班开班仪式来自中国平煤神马集团参训学员表示热烈欢迎。教授指出本次培训是产学研深度合作的一个重要实践,力图通过理论教学与实操训练,帮助学员掌握半导体碳化硅材料生长、加工和表征方面的技术。

后续四天的培训授课老师讲授了半导体碳化硅材料的相关知识主要包括半导体碳化硅材料基本性质发展现状趋势真空系统基本知识及其半导体碳化硅材料制备中的应用碳化硅粉料制备技术碳化硅单晶生长过程中的热量传递与物质输运碳化硅单晶加工的关键工艺碳化硅材料结构元素电学表征测试方法。实操环节学员们先后进行了电阻率测试、拉曼晶型测试等表征操作观看从晶锭加工到精加工的全流程进行8英寸减薄的操作练习磁控溅射与原子气相沉积真空设备的使用

  在最后培训总结交流会上,学员分享自己的培训心得。一位学员说到:理论与实践相结合的培训方式非常实用,培训老师深入浅出地讲解,让我不仅掌握了操作技能,更理解了技术原理。受益匪浅!