为了促进中国平煤神马集团与浙江大学杭州国际科创中心在半导体碳化硅材料领域的深度合作,加强产学研协同创新,提升碳化硅单晶生长、加工及检测技术的研发与应用水平,5月19日至5月23日,先进半导体研究院举办了半导体碳化硅材料生长、加工和表征技术培训。
皮孝东教授主持了培训班的开班仪式,并对来自中国平煤神马集团的参训学员表示热烈欢迎。皮教授指出:本次培训是产学研深度合作的一个重要实践,力图通过理论教学与实操训练,帮助学员更好掌握半导体碳化硅材料生长、加工和表征等方面的技术。
在后续四天的培训中,授课老师讲授了半导体碳化硅材料的相关知识,主要包括半导体碳化硅材料基本性质、发展现状及趋势;真空系统的基本知识及其在半导体碳化硅材料制备中的应用;碳化硅粉料制备技术;碳化硅单晶生长过程中的热量传递与物质输运;碳化硅单晶加工的切、磨、抛等关键工艺;碳化硅材料的结构、元素、电学等表征测试方法。在实操环节,学员们先后进行了电阻率测试、拉曼晶型测试等表征操作;观看了从晶锭粗加工到精加工的全流程,并进行了8英寸晶片减薄的操作;练习了磁控溅射与原子气相沉积等真空设备的使用。
在最后培训班总结交流会上,学员们分享了自己的培训心得。一位学员说到:“理论与实践相结合的培训方式非常实用,培训老师深入浅出地的讲解,让我不仅掌握了操作技能,更理解了技术原理。令我受益匪浅!”。