先进半导体研究院 半导体材料研究室
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承担项目
承担项目
高质量6英寸氧化镓单晶生长关键技术研发
2023-03-21
大尺寸碳化硅衬底技术
2023-03-21
高质量直径150 mm碳化硅单晶衬底晶圆技术开发
2023-03-21
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